[发明专利]调焦调平测量系统及其测量方法无效
| 申请号： | 200710171968.0 | 申请日： | 2007-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN101187783A | 公开（公告）日： | 2008-05-28 |
| 发明（设计）人： | 关俊 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种调焦调平测量系统及其测量方法。该测量系统包括物光栅、第一成像系统、第二成像系统、探测光栅和探测模块，第一成像系统可将物光栅经光束照明成像于被测对象以形成第一光栅像，第二成像系统可将第一光栅像成像于探测光栅以形成第一探测像，第一探测像与探测光栅叠加形成第一莫尔条纹，第一莫尔条纹被探测模块探测，探测模块的位置信息固定，被测对象的位置信息表现于第一莫尔条纹相对于探测模块的位置信息。 | ||
| 搜索关键词： | 调焦 测量 系统 及其 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种调焦调平测量系统，其特征在于：该调焦调平测量系统包括物光栅、第一成像系统、第二成像系统、探测光栅和探测模块，该第一成像系统可将物光栅经光束照明成像于被测对象以形成第一光栅像，该第二成像系统可将该第一光栅像成像于该探测光栅以形成第一探测像，该第一探测像与该探测光栅叠加形成第一莫尔条纹，该第一莫尔条纹被该探测模块探测，该探测模块的位置信息固定，该被测对象的位置信息表现于该第一莫尔条纹相对于该探测模块的位置信息。
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