[发明专利]一种化学机械抛光液的制备工艺有效
| 申请号： | 200710171975.0 | 申请日： | 2007-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN101451045A | 公开（公告）日： | 2009-06-10 |
| 发明（设计）人： | 黄大洋 | 申请（专利权）人： | 安集微电子（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海翰鸿律师事务所 | 代理人： | 李佳铭 |
| 地址： | 201203上海市浦东新区张江高科*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种化学机械抛光液的制备工艺：将化学机械抛光液的各成分按其工作机理、功能、化学或物理性质分组，平行的将每组的成分分别进行混合，得到各中间预混物，对中间预混物进行质量控制测试，全部中间预混物检测合格后，进行混合，制得化学机械抛光液。本发明的制备工艺缩短了大规模生产的工艺流程时间，极大地提高了产能，降低了生产成本，并且增加了工艺流程质量控制点，提高了质量控制水平，使产品质量保障得到极大提升，降低了生产质量事故风险，因而具有明显的经济价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械抛光 制备 工艺 | ||
【主权项】：
1. 一种化学机械抛光液的制备工艺，其特征在于包括如下步骤：将化学机械抛光液的各成分按其工作机理、功能、化学或物理性质分组，平行的将每组的成分分别进行混合，得到各中间预混物，对中间预混物进行质量控制测试，全部中间预混物检测合格后，进行混合，制得化学机械抛光液。
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