[发明专利]一种化学机械抛光液的制备工艺有效
申请号: | 200710171975.0 | 申请日: | 2007-12-07 |
公开(公告)号: | CN101451045A | 公开(公告)日: | 2009-06-10 |
发明(设计)人: | 黄大洋 | 申请(专利权)人: | 安集微电子(上海)有限公司 |
主分类号: | C09G1/02 | 分类号: | C09G1/02;H01L21/304 |
代理公司: | 上海翰鸿律师事务所 | 代理人: | 李佳铭 |
地址: | 201203上海市浦东新区张江高科*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种化学机械抛光液的制备工艺:将化学机械抛光液的各成分按其工作机理、功能、化学或物理性质分组,平行的将每组的成分分别进行混合,得到各中间预混物,对中间预混物进行质量控制测试,全部中间预混物检测合格后,进行混合,制得化学机械抛光液。本发明的制备工艺缩短了大规模生产的工艺流程时间,极大地提高了产能,降低了生产成本,并且增加了工艺流程质量控制点,提高了质量控制水平,使产品质量保障得到极大提升,降低了生产质量事故风险,因而具有明显的经济价值。 | ||
搜索关键词: | 一种 化学 机械抛光 制备 工艺 | ||
【主权项】:
1. 一种化学机械抛光液的制备工艺,其特征在于包括如下步骤:将化学机械抛光液的各成分按其工作机理、功能、化学或物理性质分组,平行的将每组的成分分别进行混合,得到各中间预混物,对中间预混物进行质量控制测试,全部中间预混物检测合格后,进行混合,制得化学机械抛光液。
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