[发明专利]点衍射干涉仪有效
申请号: | 200710172257.5 | 申请日: | 2007-12-13 |
公开(公告)号: | CN101183042A | 公开(公告)日: | 2008-05-21 |
发明(设计)人: | 王帆 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02;G01B9/02 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供一种点衍射干涉仪,包括光源模块、可产生理想球面波的掩模、可产生多级次衍射光的光学衍射元件、图像传感器以及光学元件,将被测光学元件放置于所述掩模与光学衍射元件之间,所述光学元件可以全部透过部分级次的衍射光,而其中某一级次的衍射光的一部分透过而另外一部分被衍射,所述光学元件还可以全部透过部分级次的衍射光,而其中某一级次的衍射光被衍射,或者所述光学元件由多个窗口与小孔构成,所述窗口可以选择性的透过部分级次的衍射光,而未被衍射的光则经过所述光学元件上的小孔衍射。本发明的点衍射干涉仪通过同时产生的多幅干涉图进行测量,提高采样频率,简化了整个系统的设计和操作,并且避免了移相元件的运动误差。 | ||
搜索关键词: | 衍射 干涉仪 | ||
【主权项】:
1.一种点衍射干涉仪,包括沿光路依次排列的光源模块、可产生理想球面波的掩模、可产生多级次衍射光的光学衍射元件、光学元件以及图像传感器,将一被测光学系统放置于所述掩模与光学衍射元件之间,其特征在于,所述光学元件可以全部透过部分级次的衍射光,而其中某一级次的衍射光的一部分透过而另外一部分被衍射。
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