[发明专利]一种显微图像的校准方法有效

专利信息
申请号: 200710172422.7 申请日: 2007-12-17
公开(公告)号: CN101464129A 公开(公告)日: 2009-06-24
发明(设计)人: 朱珠;梁山安;张鸿;罗旖旎 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
主分类号: G01B9/04 分类号: G01B9/04;G01R31/28;G01R31/308
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所 代理人: 屈 蘅;李时云
地址: 2012*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明的显微图像的校准方法,用于解决光学显微镜下不同倍率下的图像漂移的问题。该校准包括以下步骤:1.提供一种具有刻度标记和中心标记的校准样片;2.在一定倍率下将校准样片的中心标记与物镜的中心标记对准;3.切换到光学显微镜的另一倍率下,计算物镜的中心标记相对校准样片中心标记的偏移量;4.在步骤2的倍率下,定位测试片的测试点;5.切换到步骤3的倍率下,根据步骤3计算的偏移量,移动放置着测试片的载片台。采用本发明方法,在显微图像出现漂移的情况下也可快速定位测试片的测试点,避免配有光学显微镜的测试机台因显微图像漂移引起的延误测试进程和测试机台的利用率低的问题出现。
搜索关键词: 一种 显微 图像 校准 方法
【主权项】:
1、一种显微图像的校准方法,所述显微图像为载片台上的测试片在光学显微镜的具有中心标记的物镜下图像,其特征在于,它包括以下步骤:步骤1:提供一种具有刻度标记,且中心具有与所述物镜中心标记相同的标记的校准样片;步骤2:将所述校准样片置于所述载片台上,将一定倍率下的光学显微镜的物镜的中心标记与所述校准样片的标记对准;步骤3:切换所述光学显微镜到另一倍率下,计算此时物镜的中心标记相对所述校准样片中心标记的偏移量;步骤4:在所述步骤2的光学显微镜的倍率下,将所述测试片置于所述载片台上,定位所述测试片的测试点;步骤5:切换光学显微镜的倍率到所述步骤3中光学显微镜的另一倍率下,根据所述步骤3计算的偏移量,移动载片台。
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