[发明专利]全折射投影光学系统有效
| 申请号： | 200710173558.X | 申请日： | 2007-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN101216592A | 公开（公告）日： | 2008-07-09 |
| 发明（设计）人： | 蔡燕民 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G02B13/00 | 分类号： | G02B13/00;G02B9/34;G02B1/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种全折射投影光学系统，用于将物平面内的图形成像到像平面内。该全折射投影光学系统，沿其光轴方向包括前组、孔径光阑和后组，其中该前组和该后组的透镜组件以该孔径光阑为对称面光学结构完全对称，该前组从物面一侧顺次是具有正光焦度的第一镜组及负光焦度的第二镜组；该后组从物面一侧顺次是具有负光焦度的第三镜组及正光焦度的第四镜组。且所述的全折射投影光学系统中所有表面类型为球面，不包含非球面。采用本发明的全折射投影光学系统，能有效地校正像差，提升成像质量，并增加物方和像方工作距离。 | ||
| 搜索关键词： | 折射 投影 光学系统 | ||
【主权项】：
1.一种全折射投影光学系统，沿其光轴方向包括前组、孔径光阑和后组，其特征在于：该前组和该后组的透镜组件以该孔径光阑为对称面光学结构完全对称，该前组从物面一侧顺次是具有正光焦度的第一镜组(G1)、及负光焦度的第二镜组(G2)，该第一及第二镜组(G1、G2)由第一到第九透镜(L1-L9)组成；该后组从物面一侧顺次是具有负光焦度的第三镜组(G3)、及正光焦度的第四镜组(G4)，该第三及第四镜组(G3、G4)由第十到第十八透镜(L10-L18)组成，所述孔径光阑放置于该第二镜组(G2)和第三镜组(G3)之间。
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