[发明专利]一种折反射投影光学系统有效
| 申请号： | 200710173571.5 | 申请日： | 2007-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN101216597A | 公开（公告）日： | 2008-07-09 |
| 发明（设计）人： | 蔡燕民 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G02B17/08 | 分类号： | G02B17/08;G02B1/02;G03B21/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种折反射投影光学系统，用于将置于其物平面内的图形成像到其像平面内，沿其光轴方向依次包括前(后)组、凹球面反射镜。上述前组与后组共用同一组光学元件，沿其光轴方向依次包括直角反射棱镜，第一双凸正透镜，第一弯月厚透镜，第二弯月厚透镜，及三片式光学结构。该凹球面反射镜，其上设置有孔径光阑，使本投影光学系统形成放大倍率为－1倍的完全对称式结构。因而，采用本发明的折反射投影光学系统，不仅能有效地校正像差，提升成像质量；而且可以有效地压缩该投影光学系统的总长，同时实现较长的工作距离。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 反射 投影 光学系统 | ||
【主权项】：
1.一种折反射投影光学系统，用于将置于其物平面内的图形成像到其像平面内，该折反射投影光学系统沿其光轴方向依次包括前(后)组、凹球面反射镜，其特征在于，所述前组与所述后组共用同一组光学元件，沿其光轴方向依次包括：直角反射棱镜；第一双凸正透镜；第一弯月厚透镜，其与所述第一双凸正透镜共同校正所述投影光学系统的高级球差；第二弯月厚透镜，其与所述第一弯月厚透镜共同校正该投影光学系统的像面弯曲；及三片式光学结构，可以有效地压缩该投影光学系统的总长，同时实现较长的工作距离；该凹球面反射镜，其上设置有孔径光阑，使所述投影光学系统形成放大倍率为-1倍的完全对称式结构，并且所述投影光学系统为物方和像方双远心光路。
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