[发明专利]一种折反射投影光学系统有效
申请号: | 200710173571.5 | 申请日: | 2007-12-28 |
公开(公告)号: | CN101216597A | 公开(公告)日: | 2008-07-09 |
发明(设计)人: | 蔡燕民 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
主分类号: | G02B17/08 | 分类号: | G02B17/08;G02B1/02;G03B21/00 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供了一种折反射投影光学系统,用于将置于其物平面内的图形成像到其像平面内,沿其光轴方向依次包括前(后)组、凹球面反射镜。上述前组与后组共用同一组光学元件,沿其光轴方向依次包括直角反射棱镜,第一双凸正透镜,第一弯月厚透镜,第二弯月厚透镜,及三片式光学结构。该凹球面反射镜,其上设置有孔径光阑,使本投影光学系统形成放大倍率为-1倍的完全对称式结构。因而,采用本发明的折反射投影光学系统,不仅能有效地校正像差,提升成像质量;而且可以有效地压缩该投影光学系统的总长,同时实现较长的工作距离。 | ||
搜索关键词: | 一种 反射 投影 光学系统 | ||
【主权项】:
1.一种折反射投影光学系统,用于将置于其物平面内的图形成像到其像平面内,该折反射投影光学系统沿其光轴方向依次包括前(后)组、凹球面反射镜,其特征在于,所述前组与所述后组共用同一组光学元件,沿其光轴方向依次包括:直角反射棱镜;第一双凸正透镜;第一弯月厚透镜,其与所述第一双凸正透镜共同校正所述投影光学系统的高级球差;第二弯月厚透镜,其与所述第一弯月厚透镜共同校正该投影光学系统的像面弯曲;及三片式光学结构,可以有效地压缩该投影光学系统的总长,同时实现较长的工作距离;该凹球面反射镜,其上设置有孔径光阑,使所述投影光学系统形成放大倍率为-1倍的完全对称式结构,并且所述投影光学系统为物方和像方双远心光路。
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