[发明专利]鉴幅传感器及射频传输系统及其对负载阻抗进行鉴幅的方法有效

专利信息
申请号: 200710176232.2 申请日: 2007-10-23
公开(公告)号: CN101420815A 公开(公告)日: 2009-04-29
发明(设计)人: 张文雯;王东;申浩南 申请(专利权)人: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
主分类号: H05H1/46 分类号: H05H1/46;H01L21/00;H01L21/3065
代理公司: 北京凯特来知识产权代理有限公司 代理人: 赵镇勇
地址: 100016北京市*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种鉴幅传感器及射频传输系统及其对负载阻抗进行鉴幅的方法,射频传输系统的射频主传输线上连接有鉴幅传感器,鉴幅传感器的电压信号采集单元和电流信号采集单元分别采集射频主传输线的电压信号和电流信号,然后由模拟乘法器接收电压信号和电流信号,并对接受到的信号进行运算,并将运算后的信号输入给控制器,控制器对接收到信号进行运算得到负载阻抗的幅值,实现射频传输系统的负载阻抗进行鉴幅。性能精度高、可靠性高。
搜索关键词: 传感器 射频 传输 系统 及其 负载 阻抗 进行 方法
【主权项】:
1、一种鉴幅传感器,包括信号采集单元,其特征在于,所述的信号采集单元包括电压信号采集单元和电流信号采集单元,所述电压信号采集单元和电流信号采集单元的输出端分别连接有模拟乘法器,所述的模拟乘法器可以接收交流电压或交流电流信号,所述的模拟乘法器的输出表达式为:公式1:式中:X1、X2、Y1、Y2、Z2为输入变量。
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