[发明专利]嵌套式溅射靶及其制造方法有效
| 申请号： | 200710176753.8 | 申请日： | 2007-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN101205601A | 公开（公告）日： | 2008-06-25 |
| 发明（设计）人： | 何金江;郭力山;尚再艳;雷继锋;廖赞;杨亚卓 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院;有研亿金新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/14;C22C1/02;C22F1/00 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 | 代理人： | 胡长远 |
| 地址： | 100088北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种嵌套式溅射靶及其制造方法，本发明溅射靶包括靶材1和靶托2，其中靶材1具有凸台结构，靶材1的凸台结构部分嵌套在靶托2内。本发明结构简单，使用后剩余靶材可以回收，减少贵重金属的浪费；其次，靶托可采用铝、铜等金属材料，节省了贵重的溅射材料；本发明制造方法不用焊接，方法简单，生产成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 嵌套 溅射 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种嵌套式溅射靶，由靶材(1)和靶托(2)组成，其中靶材(1)具有凸台结构，靶材(1)的凸台结构部分嵌套在靶托(2)内。
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