[发明专利]单片平行平板镜光束整形器及其制作方法无效
| 申请号： | 200710177401.4 | 申请日： | 2007-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN101435883A | 公开（公告）日： | 2009-05-20 |
| 发明（设计）人： | 韩淋;王翠鸾;冯小明;刘媛媛;李伟;马骁宇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G02B5/00 | 分类号： | G02B5/00;G02B3/00;G02B1/10 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 100083北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明一种单片平行平板镜光束整形器，其特征在于，包括：一平行平板镜，该平行平板镜为矩形；一第一反射膜，该第一反射膜制作在平行平板镜正面的一侧面上；形成光束反射区；一第二反射膜，该第二反射膜制作在平行平板镜背面的与第一反射膜方向相差90度的一侧面上；其中平行平板镜上制作有反射膜的部分为光束反射区，未制作反射膜的部分为光束透射区。 | ||
| 搜索关键词： | 单片 平行 平板 光束 整形 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1、一种单片平行平板镜光束整形器，其特征在于，包括：一平行平板镜，该平行平板镜为矩形；一第一反射膜，该第一反射膜制作在平行平板镜正面的一侧面上；形成光束反射区；一第二反射膜，该第二反射膜制作在平行平板镜背面的与第一反射膜方向相差90度的一侧面上；其中平行平板镜上制作有反射膜的部分为光束反射区，未制作反射膜的部分为光束透射区。
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