[发明专利]一种匹配器及其匹配方法有效
| 申请号： | 200710177433.4 | 申请日： | 2007-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN101437353A | 公开（公告）日： | 2009-05-20 |
| 发明（设计）人： | 武晔 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 100016北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种射频阻抗匹配器，包括：第一传感器，用于检测匹配网络的输入阻抗；第二传感器，用于检测匹配网络的负载阻抗；包括当前阻抗计算单元、匹配阻抗计算单元和调整量计算单元的控制器；所述当前阻抗计算单元用于依据所述输入阻抗和负载阻抗计算得到可变阻抗元件的当前阻抗值；所述匹配阻抗计算单元用于当所述输入阻抗与射频发生器的输出阻抗不匹配时，依据所述负载阻抗和输出阻抗计算得到可变阻抗元件的匹配阻抗值；所述调整量计算单元用于依据所述可变阻抗元件的当前阻抗值和匹配阻抗值，计算得到所需的针对可变阻抗元件的调整量；执行机构，用于依据所述调整量对可变阻抗元件进行调整。本发明可以避免耦合问题，提高匹配效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 配器 及其 匹配 方法 | ||
【主权项】：
1、一种射频阻抗匹配器，其特征在于，包括：第一传感器，用于检测匹配网络的输入阻抗；第二传感器，用于检测匹配网络的负载阻抗；包括当前阻抗计算单元、匹配阻抗计算单元和调整量计算单元的控制器；所述当前阻抗计算单元，用于依据所述输入阻抗和负载阻抗计算得到可变阻抗元件的当前阻抗值；所述匹配阻抗计算单元，用于当所述输入阻抗与射频发生器的输出阻抗不匹配时，依据所述负载阻抗和输出阻抗计算得到可变阻抗元件的匹配阻抗值；所述调整量计算单元，用于依据所述可变阻抗元件的当前阻抗值和匹配阻抗值，计算得到所需的针对可变阻抗元件的调整量；执行机构，用于依据所述控制器计算得到的调整量对可变阻抗元件进行调整。
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