[发明专利]应用聚苯乙烯球进行聚焦光刻成形亚波长微纳结构

摘要

一种应用聚苯乙烯球进行聚焦光刻成形亚波长微纳结构的制作方法，其特征在于：首先选择基底材料；在其表面依次旋涂一层抗蚀剂，蒸镀一层金属结构，再旋涂一层间隙层，最后自组装一层聚苯乙烯球；将上述结构在曝光系统中进行曝光；然后去除聚苯乙烯球、间隙层和金属层结构；将基底放入显影液中进行显影，获得目标结构；最后对目标结构进行刻蚀，将结构传递到基底上。本发明采用聚苯乙烯球充当聚焦透镜，进一步减小了透镜的周期和尺寸；并且在被曝光的抗蚀剂表面蒸镀金属结构，使得在聚焦曝光的时候，在金属内部可以激发表面等离子体，提高聚焦焦斑的分辨率，减小成形的目标结构的特征尺寸，为亚波长微纳结构的制作提供了一种有效的方法。

主权项

1.一种采用聚苯乙烯球进行聚焦光刻成形亚波长微纳结构的方法，其特征在于以下步骤：(1)选择合适的基底材料，并将其进行清洗，用高压氮气吹干；(2)在基底表面旋涂一层抗蚀剂，在抗蚀剂表面再蒸镀一层金属结构；(3)在金属层表面旋涂一层间隙层；(4)在间隙层表面自组装一层聚苯乙烯球；(5)将步骤(4)所得结构在曝光系统中进行聚焦曝光，通过调节曝光时间，在抗蚀剂内部形成需要的曝光能量分布；(6)除去聚苯乙烯球以及间隙层和金属层结构；(7)选择与抗蚀剂相匹配的显影液，对抗蚀剂进行显影，获得目标结构；(8)对目标结构进行刻蚀，将结构传递到基底上。