[发明专利]SPM高分辨图形数据处理方法无效
| 申请号： | 200710177756.3 | 申请日： | 2007-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN101294887A | 公开（公告）日： | 2008-10-29 |
| 发明（设计）人： | 陈代谢;韩立;林云生 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电工研究所 |
| 主分类号： | G01N13/10 | 分类号： | G01N13/10;G06T5/00 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 | 代理人： | 关玲;成金玉 |
| 地址： | 100080北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种SPM高分辨图形数据处理方法，其特征在于采用误差信号对原始成像数据进行算法补偿。SPM在Z方向的扫描采用PID反馈控制方法。记录每个扫描点的原始成像数据Uz和误差数据error。原始成像数据Uz一方面驱动压电陶瓷Z向运动，一方面作为成像数据保存下来。通过调制系数k将误差数据error补偿到原始成像数据，形成更高分辨的图像信号Uz′＝Uz+λk*Error′。 | ||
| 搜索关键词： | spm 分辨 图形 数据处理 方法 | ||
【主权项】：
1、一种SPM高分辨图形数据处理方法，其特征在于采用探针与样品之间作用力的变化值与设定值之间的误差作为误差信号，用误差信号对原始成像数据进行算法补偿。
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