[发明专利]X射线平板探测器

摘要

本发明涉及一种X射线平板探测器，包括薄膜晶体管基板；像素电极层，设置在所述薄膜晶体管基板上；N型非晶硅层，设置在所述像素电极层上；非晶硅层，设置在所述N型非晶硅层，用于进行可见光转换成电信号；绝缘层，设置所述非晶硅层上；透明电极膜，设置在所述绝缘层上；以及光子转换层，设置在所述透明电极上，用于将X射线的能量转换成可见光。本发明提供的这种X射线平板探测器利用绝缘层替代P型非晶硅层，同样实现了光信号转换成电信号，但同时却节约生产成本。因此，本发明能够降低医疗仪器的生产成本，使得具有这种X射线平板探测器的医疗仪器能够被广泛使用，从而降低患者昂贵的医疗费用。

主权项

1.一种X射线平板探测器，其特征在于，包括：薄膜晶体管基板，用于逐行读出电信号的电荷；像素电极层，设置在所述薄膜晶体管基板上，用于采集电信号的电荷；N型非晶硅层，设置在所述像素电极层上，用于阻止像素电极上的电荷的减少；非晶硅层，设置在所述N型非晶硅层，用于进行可见光转换成所述电信号；绝缘层，设置所述非晶硅层上，用于阻止电荷进入非晶硅层；透明电极膜，设置在所述绝缘层上，用于施加电压使非晶硅层产生光电效应；以及光子转换层，设置在所述透明电极上，用于将X射线的能量转换成可见光。