[发明专利]阵列式超薄柔顺力传感器及其制备方法

摘要

本发明涉及阵列式超薄柔顺力传感器及其制备方法，属于力传感器技术领域，该传感器包括封装成一体的上下层电极及压于其间的导电高分子敏感膜，还包括通过信号线与该上下层电极相连的前置电路，导电高分子敏感膜采用主要以作为导电相的导电炭黑、以作为绝缘相的单组份硅橡胶和纳米SiO₂分散剂构成的具有压阻效应的导电高分子敏感膜，所述上下层电极均为利用柔性印刷电路板工艺在薄膜基底上制作的多条电极及与每个电极条相连的一条信号线，所述上、下层电极条相互交叉与所述导电高分子敏感膜构成M×N敏感单元阵列；所述各信号线汇集一起，形成引出密排电缆。本发明具有结构纤薄、柔顺性好、量程大、精度高、分辨率高的特点。

主权项

1.一种基于超薄柔顺敏感元件的挤压力传感器，包括封装成一体的上下层电极及压于其间的导电高分子敏感膜，还包括通过信号线与该上下层电极相连的前置电路，其特征在于：所述的导电高分子敏感膜采用主要以作为导电相的导电炭黑、以作为绝缘相的单组份硅橡胶和纳米SiO2分散剂构成的具有压阻效应的导电高分子敏感膜，所述上下层电极均为利用柔性印刷电路板工艺在薄膜基底上制作的多条电极及与每个电极条相连的一条信号线，所述上、下层电极条相互交叉与所述导电高分子敏感膜构成M×N敏感单元阵列，M、N分别为上、下层或下、上层电极的条数，M、N均为正整数且M≥N；所述各信号线汇集一起，形成引出密排电缆。