[发明专利]一种基于微透镜阵列调焦调平的装置与方法

摘要

本发明公开了一种基于微透镜阵列调焦调平的方法与装置，属于光电检测技术领域。本发明包括发射部分和接收部分。其中发射部分包括光源、聚焦透镜、针孔滤波器、扩束透镜、优化入瞳器件、微透镜阵列，转向反射镜；接收部分包括转向反射镜、微透镜阵列、聚焦透镜、微光机电系统(OMEMS)扫描反射镜、针孔滤波器和探测器。本发明采用优化入瞳器件控制通光量来改善测量光斑，或者通过开关状态控制成像点的数量来适应不同曝光视场；采用微透镜阵列替代狭缝阵列；采用微光机电系统(OMEMS)扫描反射镜替代单镜扫描；采用差分接收方法，降低对光源稳定性的要求，获得更高的测量精度。

主权项

1.一种基于微透镜阵列调焦调平的装置，该装置包括两大部分：发射部分、接收部分其中发射部分包括光源(300)、聚焦透镜(301)、针孔滤波器(302)、扩束透镜(303)、优化入瞳器件(304)、微透镜阵列(305)，转向反射镜(306)；接收部分包括转向反射镜(308)、微透镜阵列(309)、聚焦透镜(310)、微光机电系统(OMEMS)扫描反射镜(311)、针孔滤波器(312)和探测器(313)；其特征在于：各部件之间的连接关系为见图3，光源(300)经过聚焦透镜(301)聚焦到针孔滤波器(302)，光线透过针孔滤波器(302)，通过扩束透镜(303)变成平行光，透过优化入瞳器件(304)；在优化入瞳器件(304)后面放置微透镜阵列(305)，使各个微透镜分别对准从优化入瞳器件(304)透过的光线；透过微透镜阵列的光线经过转向反射镜(306)反射到硅片(307)表面；经过硅片(307)和转向反射镜(308)反射，透过另外一个微透镜阵列(309)，再经过聚焦透镜(310)聚焦和微光机电系统(OMEMS)扫描反射镜(311)反射，透过针孔滤波器(312)，入射到探测器(313)上。