[发明专利]一种光学相位延迟精密测量方法及其系统

摘要

本发明公开了一种光学相位延迟精密测量方法及其系统，本发明的系统包括激光器、起偏器、光调制器、调制信号源、待测相位延迟器、相位补偿器、检偏器、光探测器、结果输出单元，本发明的方法通过在光路中加入光调制器对检测偏振光进行光调制，产生调制偏振光，结果显示单元对接收信号滤波处理后实现将直流零点的测量转换交流零点的测量，从而准确判断极值点位置，提高了测量精度。本发明测量简单方便，结果准确可靠，精度可达到λ/300，适用于波片等光学延迟器件的生产和销售部门对产品的检验。

主权项

1.一种光学相位延迟精密测量方法，其步骤为：1)将激光发出的光依次经过起偏器、光调制器、待测相位延迟器、相位补偿器、检偏器、光探测器后由结果显示单元显示输出结果；2)给光调制器加上调制信号，使出射光两个正交偏振态的相位延迟产生交流变化；3)结果显示单元对接收的信号进行滤波处理，将直流零点的测量转换为交流零点的测量；4)调节相位补偿器，记录结果显示单元出现消光位置时相位补偿器的补偿量δc；5)计算待测器件的相位延迟量δs＝π-δc。