[发明专利]氧化锌自组装颗粒膜的制备方法

摘要

本发明提供了一种氧化锌自组装颗粒膜的制备方法，它是先将基底进行特殊处理，使其带上电荷。再把基片交替浸入到带正电荷的ZnO₂溶胶和带负电荷的聚电解质溶液中，每次从溶液或溶胶中取出基片后都要用去离子水彻底清洗，用氩气或氮气吹干。在静电引力的作用下，ZnO₂胶体颗粒和聚电解质便一层一层的吸附到基片表面，不断重复以上过程，即可制得不同厚度的自组装复合薄膜。然后，经过热处理即可得到ZnO薄膜。此方法工艺简单，对衬底形状无特殊要求，而且可以从分子水平对膜厚进行控制，成膜重复性好。所得ZnO薄膜可以用于透明导体、发光元件、太阳能电池窗口、光波导器、表面声波元件等多方面。

主权项

1.一种氧化锌自组装颗粒膜的制备方法，其特征在于：其制备的具体步骤如下：(1)先利用醋酸锌、硝酸锌、硫酸锌、氯化锌等含有锌源的物质和双氧水在光照、搅拌的条件下反应制备得到ZnO2溶胶，并用酸或碱调节其pH值在2～12之间使其溶胶颗粒带上电荷；(2)再分别配置浓度为0.001mg/ml～50g/ml的带正负电荷的聚电解质溶液；(3)把基底浸泡在大于40℃的体积比为30∶70的双氧水和硫酸溶液中进行浸泡处理使其表面羟基化，带上电荷；(4)先在基底上交替层层自组装上多层带相反电荷的聚电解质，以便增加ZnO薄膜吸附的牢固程度；(5)然后再开始把基底交替浸泡在ZnO2溶胶和与其带相反电荷的聚电解质溶液中10秒～100分钟，利用静电力层层吸附得到不同厚度的ZnO2薄膜；(6)再把薄膜在200℃～1000℃的温度范围内退火处理多于0.5个小时的时间，即可得到ZnO薄膜。