[发明专利]一种差动电容式微机械加速度计无效
| 申请号： | 200710179596.6 | 申请日： | 2007-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN101187674A | 公开（公告）日： | 2008-05-28 |
| 发明（设计）人： | 高宏;丁炜;毕国楦;胡向阳;董景新;张嵘 | 申请（专利权）人： | 紫光通讯科技有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所 | 代理人： | 廖元秋 |
| 地址： | 100084北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种差动电容式微机械加速度计，属于微机电系统(MEMS)中的惯性传感器领域，本速度计包括由硅片、绝缘层和可动电极组成的敏感质量元件、固定电极、基片、折叠梁；可动电极以栅状等间距分布在硅片上，绝缘层将各个可动电极在空间上隔离开；折叠梁构造在敏感质量元件两端，并通过立柱固定于基片上，使整个可动电极平面相对基片平面悬空平行；该固定电极等间距布置在基片上，固定电极与可动电极交错配置，形成一组差动电容。本发明增大了质量块的敏感质量，从而大幅度提高灵敏度和分辨率。本发明结构简单，并使用集成电路平面制造工艺加工可动电极和固定电极，成本低廉、加工工艺简单，可重复性强、成品率高、易于批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 差动 电容 式微 机械 加速度计 | ||
【主权项】：
1.一种差动电容式微机械加速度计，其特征在于：包括一个由硅片、绝缘层和可动电极构成的敏感质量元件、固定电极、基片、折叠梁、立柱；其中敏感质量元件的主体为硅片，可动电极以栅状等间距分布在硅片下表面上，绝缘层将各个可动电极在空间上隔离开；折叠梁构造在敏感质量元件两端，并通过立柱固定于基片上，使整个可动电极平面相对基片悬空平行；该固定电极等间距布置在基片上，固定电极与可动电极交错配置，形成一组差动电容。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于紫光通讯科技有限公司，未经紫光通讯科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200710179596.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种含替加氟和氮杂硅三环的磷酰胺酯化合物
- 下一篇：一种模壳构件成型模具
