[发明专利]过渡金属多重掺杂负温度系数单晶硅热敏电阻无效
申请号: | 200710180002.3 | 申请日: | 2007-10-24 |
公开(公告)号: | CN101136271A | 公开(公告)日: | 2008-03-05 |
发明(设计)人: | 陈朝阳;范艳伟;丛秀云 | 申请(专利权)人: | 中国科学院新疆理化技术研究所 |
主分类号: | H01C7/04 | 分类号: | H01C7/04 |
代理公司: | 乌鲁木齐中科新兴专利事务所 | 代理人: | 张莉 |
地址: | 830011新疆维吾尔*** | 国省代码: | 新疆;65 |
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摘要: | 本发明涉及一种过渡金属多重掺杂的负温度系数单晶硅热敏电阻,该热敏电阻采用涂源高温扩散方法,将过渡金属元素锰和铜作为掺杂剂,掺入P型单晶硅中;利用锰和铜在P型单晶硅中的杂质补偿性质,制备出珠状高B值低阻值热敏电阻,电学参数为50Ω-1.2KΩ,材料B值4100-4500K。 | ||
搜索关键词: | 过渡 金属 多重 掺杂 温度 系数 单晶硅 热敏电阻 | ||
【主权项】:
1.一种过渡金属多重掺杂的负温度系数单晶硅热敏电阻,其特征在于采用涂源高温扩散方法,将过渡金属元素锰和铜作为掺杂剂,掺入P型单晶硅中,利用锰和铜在P型单晶硅中的杂质补偿,制备出珠状热敏电阻器。
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