[发明专利]半导体电容结构无效

专利信息
申请号: 200710181148.X 申请日: 2007-10-12
公开(公告)号: CN101409286A 公开(公告)日: 2009-04-15
发明(设计)人: 叶达勋 申请(专利权)人: 瑞昱半导体股份有限公司
主分类号: H01L27/08 分类号: H01L27/08;H01L23/522
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 代理人: 陶凤波
地址: 中国台湾新*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 发明公开了一种半导体电容结构,其包含第一金属层、第二金属层、第一组介电窗插塞、第二组介电窗插塞以及介电层。该第一金属层包含第一区段,多个平行的第二区段,第三区段,及多个平行的第四区段。该第二金属层包含第五区段,多个平行的第六区段,第七区段,及多个平行的第八区段。该第一组介电窗插塞连接该第二区段及该第六区段。该第二组介电窗插塞连接该第四区段及该第八区段。
搜索关键词: 半导体 电容 结构
【主权项】:
1.一种半导体电容结构,其包含有:第一金属层,包含:第一结构,其包含第一区段,及多个平行的第二区段,连接于该第一区段;及第二结构,其包含第三区段,及多个平行的第四区段,连接于该第三区段,该多个第二区段及该多个第四区段平行叉合;及第二金属层,位于该第一金属层之上,其包含:第三结构,其包含第五区段,及多个平行的第六区段,连接于该第五区段;及第四结构,其包含第七区段,及多个平行的第八区段,连接于该第七区段,该多个第六区段及该多个第八区段平行叉合,且该多个第六区段不平行于该多个第二区段;第一组介电窗插塞,连接该第二区段及该第六区段;第二组介电窗插塞,连接该第四区段及该第八区段;以及介电层,形成于该第一金属层与该第二金属层之间。
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