[发明专利]电化学机械研磨系统和用于检测研磨终点的方法无效
| 申请号： | 200710181529.8 | 申请日： | 2003-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN101176988A | 公开（公告）日： | 2008-05-14 |
| 发明（设计）人： | 艾伦·杜布斯特;王彦;梁秀;陈良毓;安东尼·P·马奈斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B49/10 | 分类号： | B24B49/10;B24B37/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 梁挥;徐金国 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了一种侦测研磨终点的方法和系统，其中放置基材与研磨垫相接触；通过电解液在研磨垫的电极和基材上的一个或多个导电物质之间传送电子讯号，该电子讯号驱动基材上的一个或多个导电物质的电解研磨制程；以及侦测电解研磨的研磨终点，其中上述侦测电解研磨的研磨终点的步骤包含：确定在电解研磨该基材的过程中，自基材移除的总电量；以及将移除的总电量与从基材去除的物质厚度相关联。 | ||
| 搜索关键词： | 电化学 机械 研磨 系统 用于 检测 终点 方法 | ||
【主权项】：
1.一种侦测研磨终点的方法，包括：放置基材与研磨垫相接触；通过电解液在研磨垫的电极和基材上的一个或多个导电物质之间传送电子讯号，该电子讯号驱动基材上的一个或多个导电物质的电解研磨制程；以及侦测电解研磨的研磨终点，其中上述侦测电解研磨的研磨终点的步骤包含：确定在电解研磨该基材的过程中，自基材移除的总电量；以及将移除的总电量与从基材去除的物质厚度相关联。
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