[发明专利]用于制造压电转换器的方法和装置无效
申请号: | 200710186014.7 | 申请日: | 2007-11-09 |
公开(公告)号: | CN101179107A | 公开(公告)日: | 2008-05-14 |
发明(设计)人: | A·J·施米德;M·韦因曼 | 申请(专利权)人: | 费斯托合资公司 |
主分类号: | H01L41/22 | 分类号: | H01L41/22 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 李永波 |
地址: | 德国埃*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 制造压电转换器的方法包括步骤:把平板状的备有导电材料制的连接元件(26)的接触单元(23)、多个与该接触单元(23)交界的压电材料制的压电层(22)与载体初始结构(21)层压为压电层压体(13),接触单元在其中间区域(29)有基准标记(30)和与其相距一定距离的第一辅助标记,借此进行定位定向;在多个涂覆步骤中给压电层压体(13)涂上不同的功能层,其中在每个涂覆步骤都根据基准标记(30)进行定向,并在第一辅助标记的相邻处安置至少另一个辅助标记,求出该相邻的辅助标记的相对位置,并与预先储存的设定位置比较,不超过实际和设定位置之间的设定偏差时,进行下一个涂覆步骤;把压电坯料(17)分割成单个的压电转换器。 | ||
搜索关键词: | 用于 制造 压电 转换器 方法 装置 | ||
【主权项】:
1.用于制造压电转换器的方法,该方法有下列步骤:-把平板状的、配备有由导电材料构成的连接元件(26)的接触单元(23)、多个与接触单元(23)交界的由压电材料构成的压电层与载体初始结构(21)层压为压电层压体(13),其中接触单元(23)在其中间区域(29)具有基准标记(30)和至少一个离开基准标记(30)一个确定的距离的第一辅助标记(32a-32e),借助于标记测量进行根据基准标记(30)的定位定向,-在多个涂覆步骤中,给压电层压体(13)涂上不同的功能层而成为压电坯料(16),功能层中至少一个是施加在压电层(22)上的由导电材料构成的电极层(35),其中每个涂覆步骤都进行一次根据基准标记(30)的定向,并设置至少另一个与至少一个第一辅助标记(32a-32e)相邻的辅助标记(34a-34e),而且其中借助于该标记测量求出相邻的辅助标记(32a-32e,34a-34e)的相对位置,并作为实际位置与预先储存的设定位置比较,其中不超过实际位置和设定位置之间的设定偏差时进行下一个或者最后一个涂覆步骤,或者在超过设定位置时在下一个或者最后一个涂覆步骤中针对功能层的定位并附加地针对下一个要制造的压电组件进行调整,-把压电坯料(17)分割成单个压电转换器,其中至少根据基准标记(30)进行一次定向。
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