[发明专利]LED报废片再利用方法无效
| 申请号： | 200710186127.7 | 申请日： | 2007-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN101471403A | 公开（公告）日： | 2009-07-01 |
| 发明（设计）人： | 谢建春 | 申请（专利权）人： | 深圳市方大国科光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;B09B3/00 |
| 代理公司： | 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 | 代理人： | 郭伟刚;林俭良 |
| 地址： | 518055广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种LED报废片再利用方法，包括以下步骤：刻蚀步骤A：采用化学刻蚀法依次刻蚀所述报废片上的P型层、发光层、和N型掺杂层，并保留表面平整未掺杂的u-GaN层。利用化学刻蚀法对报废片进行处理，避免了现有技术的机械打磨对衬底的应力损伤，能够更好的将报废片回收再用，实现了报废片回收再利用价值。另外，可以在u-GaN层上制备微结构的图形衬底，对于后到MOCVD生长LED全结构能有效释放外延层应力，改善结晶质量，提高LED流明效率。 | ||
| 搜索关键词： | led 报废 再利用 方法 | ||
【主权项】：
1、一种LED报废片再利用方法，其特征在于，包括以下步骤：刻蚀步骤A：采用化学刻蚀法依次刻蚀所述报废片上的P型层、发光层、和N型掺杂层，并保留表面平整未掺杂的u-GaN层。
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