[发明专利]碱显影型的糊剂组合物有效

专利信息
申请号: 200710187257.2 申请日: 2007-11-15
公开(公告)号: CN101183219A 公开(公告)日: 2008-05-21
发明(设计)人: 佐佐木正树;伊藤信人;有马圣夫 申请(专利权)人: 太阳油墨制造株式会社
主分类号: G03F7/029 分类号: G03F7/029;G03F7/004
代理公司: 北京林达刘知识产权代理事务所 代理人: 刘新宇;李茂家
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种碱显影型的糊剂组合物,其适于使用了最大波长350nm~420nm的活性能量射线的激光直接成像装置,对效率良好地形成精细的图案有用,并且保存稳定性优异。一种碱显影型的糊剂组合物,其特征在于,其包含:(A)含羧基树脂、(B)玻璃粉、(C)无机粉末、(D)一分子中具有至少1个以上自由基聚合性不饱和基团的化合物、和(E-1)2-(乙酰氧基亚氨基甲基)噻吨-9-酮等肟酯系光聚合引发剂、以及(F)2-巯基苯并噻唑等硫化合物。
搜索关键词: 显影 组合
【主权项】:
1.一种碱显影型的糊剂组合物,其特征在于,其包含:(A)含羧基树脂、(B)玻璃粉、(C)无机粉末、(D)一分子中具有至少1个以上自由基聚合性不饱和基团的化合物、(E-1)下述通式(I)所示的肟酯系光聚合引发剂、以及(F)下述通式(II)所示的硫化合物,式中,R1表示氢原子、碳原子数1~6的烷基、或苯基,R2表示氢原子、碳原子数1~6的烷基,式中,R3表示烷基、芳基或取代芳基,R4表示氢原子或烷基,另外,R3和R4表示相互结合形成可以包含选自氧、硫和氮原子的杂原子的5元环到7元环所需要的非金属原子群。
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