[发明专利]臭氧标准气体发生装置

摘要

臭氧标准气体发生装置由低压汞灯微区辐射系统、光敏探测控制系统和动态定量稀释系统三大部分组成，由气源产生的空气或高纯氧气经稳压阀稳压和纯化器纯化后由质量流量计稳流并计量流量，气体分为两路：一路流经低压汞灯微区辐射池，产生一定浓度的臭氧混合气体，经浮子流量计控制流量后进入臭氧稀释池，辐射池的温度和灯电流分别由控温系统和光敏探测控制系统来保持恒定，另一路经浮子流量计控制流量后，直接进入臭氧稀释池，两路气体在稀释池充分混合后制备成臭氧标准混合气体，由标准气体口导出应用或由排空口排空。本装置将作为臭氧计量二级量传标准装置，为实现我国臭氧测量数据的准确统一和可溯源提供有效的方法。

主权项

1.臭氧标准气体发生装置由低压汞灯微区辐射系统、光敏探测控制系统和动态定量稀释系统三大部分组成。其特征在于：气源(1)产生一定气压的高纯氧气或空气经稳压阀(2)稳压后，由纯化器(3)除去水、臭氧等杂质，由质量流量计(4)计量流量并进一步稳流后分为两路气：一路气进入内含臭氧发生源的恒温低压汞灯微区辐射池(5)，辐射池的温度由辐射池控温器(9)来保证恒定，辐射池控温器(9)、灯电流控制器(10)和系统风冷部分(12)接系统电源部分(11)，灯电流控制器(10)与系统风冷部分(12)相接，辐射产生的臭氧经压力计(7)、截止阀(8)和浮子流量计(13)控制流量后，进入臭氧稀释池(14)，灯电流控制器(10)根据光敏探测器(6)测得的低压汞灯的辐射强度变化来控制汞灯产生的臭氧量并保持稳定，另一路气经截止阀(8)和浮子流量计(13)直接流入臭氧稀释池(14)，两路气在臭氧稀释池混合后，通过调节流量产生不同浓度的臭氧标准气体，通过针阀(15)调节臭氧标准气体的排空或校准气的流量，由标准气体口导出应用或由排空口排空。