[发明专利]具有环形顶终端底电极的存储装置及其制作方法有效
| 申请号： | 200710188702.7 | 申请日： | 2007-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN101257086A | 公开（公告）日： | 2008-09-03 |
| 发明（设计）人： | 龙翔澜 | 申请（专利权）人： | 旺宏电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00;H01L27/24;G11C11/56 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 台湾省新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有环形顶终端底电极的存储装置及其制作方法，该存储装置包含底电极，顶电极，与可利用施加能量在电性状态之间切换的一存储组件。该底电极包含第一上方部分与第二下方部分。第一上方部分具有为环形的顶终端，其环绕非导体的中心区域。第二下方部分的侧向尺寸较长，举例而言可为环形顶终端侧向尺寸的两倍长度。第二下方部分为无穿孔结构。存储组件位于顶电极的电性接触与底电极第一上方的环形顶终端之间。在某些实施例中，环形顶终端的存储组件具有厚度2～10nm的边墙。本发明同时公开了一种制作存储装置的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 环形 终端 电极 存储 装置 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种存储单元，包含一存储材料，可利用施加能量在电性状态之间切换，其特征在于，该存储单元包含：一底电极，包含一第一下方部分，以及一第二上方部分，该第二上方部分具有一环形顶终端；一顶电极；以及一存储组件，该存储组件位于该顶电极与该底电极的该环形顶终端之间，同时与该顶电极与该底电极的该环形顶终端具有电性接触。
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