[发明专利]一种小型化MEMS开关线移相器

摘要

本发明是一种小型化MEMS开关线移相器，包括MEMS开关、参考相移位传输线、相位延迟传输线、开关偏置线、背面接地层、介质衬底、微波接地端子、微机械通孔。优点：通过高阻抗分布式元件、集总元件和微机械通孔微波接地形成的相位延迟传输网络，保持了传输通道低插损性能，减小移相器大相移单元位传输线的芯片面积；减小移相器小相移单元位延时线所占的芯片面积；减小芯片面积；通过选择小型化设计的MEMS开关，如内禀式悬臂梁MEMS开关，使MEMS开关所占芯片面积最小化；微波信号和开关驱动信号隔离，保持MEMS开关和移相器宽带性能，MEMS开关偏置电路所占芯片面积最小；微机械通孔技术，使芯片上微波接地设计简单方便，并最大程度上减小芯片的面积。

主权项

1.一种小型化MEMS开关线移相器，包括MEMS开关、参考相移位传输线、相位延迟传输线、开关偏置线、背面接地层以及介质衬底，其特征在MEMS开关、参考相移位传输线、相位延迟传输线、微波接地端子和开关偏置线都布置在介质衬底上，介质衬底的背面金属层作为接地层，微机械通孔贯穿介质衬底，微机械通孔侧壁布满金属，微波接地端子通过微机械通孔连接背面接地层，参考相移位传输线和相位延迟传输线构成两条电长度不等的传输通道，参考相移位传输线是一段带有阻抗匹配网络的微带线构成的参考相移位传输网络，相位延迟传输线是一段连接有集总元件和与微机械通孔相连的微波接地端子的微带线构成的相位延迟传输网络，开关偏置线与MEMS开关相连，以控制MEMS开关选择所需的相位延迟电路，获得相移或者时延。