[发明专利]一种真空多弧离子镀膜机智能一体化控制器

摘要

一种真空多弧离子镀膜机智能一体化控制器，它包括单片机、触摸显示单元、A/D转换单元、D/A转换单元、放大器单元、驱动单元、继电器单元和开关量输入单元。该控制器可由现场操作者通过触摸显示屏输入制定的镀膜生产工艺，控制器按照工艺流程，通过控制真空多弧离子镀膜机的真空压强、电弧源电流、镀膜室温度、工件负偏压、充气流量以及真空泵、电磁阀门等设备，实现镀膜机的智能一体化控制，使真空镀膜工艺得到稳定，保证镀膜质量和设备安全。

主权项

1.一种真空多弧离子镀膜机智能一体化控制器，它包括单片机(U1)、触摸显示单元(U2)、A/D转换单元(U3)、D/A转换单元(U4)、放大器单元(U5)、驱动单元(U6)、继电器单元(U7)和开关量输入单元(U8)，其特征在于：所述单片机(U1)通过I/O接口与触摸显示单元(U2)连接，用于人机信息交换；所述单片机(U1)通过I/O接口与A/D转换单元(U3)连接，控制A/D转换器实时采集真空多弧离子镀膜机镀膜室温度、镀膜室真空压强、充气流量、工件负偏压、电弧源电流、电弧源电压的模拟量信息；所述单片机(U1)通过I/O接口与D/A转换单元(U4)连接，将控制量转换成电压信号，再由放大器单元(U5)进行电压、功率放大，控制真空多弧离子镀膜机镀膜室温度、镀膜室真空压强、充气流量、工件负偏压、电弧源电流及电弧源电压；所述单片机(U1)通过I/O接口输出开关信号实现引弧控制、真空泵启停控制、真空管路电磁阀门控制、充气阀门控制、工件旋转控制、电源控制及报警输出；所述单片机(U1)还通过I/O接口输入开关信号实现冷却水压力检测、关键真空压强点检测及紧急控制开关信号的输入。