[发明专利]多站式扫描位移恒定激光烧蚀装置

摘要

本发明涉及多站式扫描位移恒定激光烧蚀装置。激光扫描机构和多个处理站在圆周上设置在中心轴周围。激光扫描机构包括用马达驱动、围绕中心轴转动的旋转元件，和固定地安装在旋转元件上的光学系统，该光学系统布置成将来自中心轴的输入激光束脉冲沿着环形的扫描路径重新导向。每个站包括用于跨越环形的扫描路径径向地移动相应目标对象的机构。从扫描机构输出的激光束脉冲可以用来同时处理多个目标对象(例如烧蚀来自多个目标对象的材料)。激光扫描机构重新导向输入的激光束脉冲，使得当激光束脉冲沿着环形(弯曲)的扫描路径被扫描时，激光束保持共轴和焦点对准。制造光生伏打器件的系统采用这种激光烧蚀装置和直接写入金属化装置。

主权项

1.一种用于同时微机械加工多个目标对象的多站式激光烧蚀装置，其中该系统包括：激光器装置，其用于沿中心轴选择性地产生多个输入激光束脉冲；激光扫描机构，其包括被设置成绕中心轴转动的旋转元件和固定地安装在旋转元件上的光学系统，该光学系统被布置成使所述多个输入激光束脉冲从中心轴重新导向到围绕该中心轴确定的环形扫描路径上，借此输出的激光束脉冲被选择性地产生在环形扫描路径上；以及在圆周上设置在中心轴周围的多个站，每个站都包括用于沿相对于中心轴的相应径向方向移动所述多个目标对象中相应一个的装置，使得所述相应的目标对象横切环形扫描路径的相应部分。