[发明专利]微光机电系统波长信道选择器制作方法

摘要

本发明属于光通讯器件技术领域，是一种微光机电系统波长信道选择器的制作方法。本发明包括：(A)基片处理，(B)制作光纤准直器定位模块，(C)制作窄带滤光片定位模块，(D)固定基片左右两侧光纤准直器，(E)固定永磁体，(F)固定可动悬臂阵列，(G)固定窄带滤光片定位模块，(H)固定双面反射棱镜，(I)固定窄带滤光片，(J)固定V型槽阵列和信道光纤准直器。本发明制作简单，可以广泛用于集成化波分复用系统中。

主权项

1、一种微光机电系统波长信道选择器的制作方法，其特征是：(A)基片处理：对基片进行清洁处理，在基片上表面刻蚀出其它器件结构摆放位置的标记，并在永磁体(2)摆放的位置制作凹坑；(B)制作光纤准直器定位模块：在两块完全相同的长方体上制作半圆形槽，然后把两个半圆形槽对扣，形成一个圆柱通光孔；精确调整位置之后，把它们粘合在一起；(C)制作窄带滤光片定位模块5：在一块长方体上等间隔打N个孔；(D)固定基片左右两侧光纤准直器：把光纤准直器定位模块按照基片上表面刻蚀好的位置标记临时固定，把入射光纤准直器和出射光纤准直器分别放置在V型槽(7-1)、V型槽(7-2)里，然后分别置于光纤准直器定位模块两侧的通光孔处，调整它们的位置，当两个光纤准直器之间的信号插损达到最小值时，把V型槽(7-1)、V型槽(7-2)分别固定在基片上表面，移去光纤准直器定位模块；(E)固定永磁体：分别把N个永磁体固定在基片上表面的凹坑内，永磁体的上表面要略低于基片上表面；(F)固定可动悬臂阵列：把可动悬臂阵列固定在基片上，使它们自由端内部的铜线圈置于永磁体的正上方，固定端与基片粘接在一起；(G)固定窄带滤光片定位模块：把窄带滤光片定位模块置于基片上表面，按照基片上刻蚀的摆放标记对准，调整好位置后与基片固定；(H)固定双面反射棱镜：把铝膜反射镜放在窄带滤光片定位模块处，铝反射面与窄带滤光片定位模块的通光孔紧密接触并临时固定；将一个双面反射棱镜置于可动悬臂阵列左侧第一个可动悬臂自由端上表面，精确调节双面反射棱镜位置，使经过它和铝膜反射镜反射之后的光信号能够被右侧的出射光纤准直器最大限度的接收；当信号接收效果调整到最佳时，把双面反射棱镜固定在可动悬臂的自由端上表面；其它双面反射棱镜的固定方法完全相同，固定顺序按照从两边到中间的顺序；(I)固定窄带滤光片：当所有双面反射棱镜都固定好之后，去掉铝膜反射镜，把窄带滤光片分别置于窄带滤光片定位模块的通光孔处，精确调整他们的位置，当两个光纤准直器之间的插损最小时，固定窄带滤光片；(J)固定V型槽阵列和信道光纤准直器：把阵列V型槽按照基片上表面光刻蚀的标记放置，将光纤准直器分别放置在阵列V型槽每个V型槽中，使它们分别对准相应的窄带滤光片；分别精确调整他们的位置，当接收的信号达到最佳时，固定阵列V型槽和光纤准直器。