[发明专利]磁遥控驱动微结构的制备方法有效
| 申请号： | 200710193540.6 | 申请日： | 2007-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN101192002A | 公开（公告）日： | 2008-06-04 |
| 发明（设计）人： | 孙洪波;夏虹;陈岐岱;高炳荣 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/004;G03F7/028;G03F7/20;G03F7/32;B81C5/00;H01F1/04 |
| 代理公司： | 长春吉大专利代理有限责任公司 | 代理人： | 张景林;刘喜生 |
| 地址： | 130023吉林省*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明属于微机电领域，具体涉及一种利用三维激光加工技术制备磁遥控驱动微结构的方法。其首先利用物理或化学方法合成磁性材料，然后将磁性材料与光敏聚合材料体系共混制备磁性光刻胶，再利用搭建的激光三维加工系统逐点扫描磁性光刻胶，显影后即获得磁遥控驱动的微结构器件。制备的微结构充分利用了各种磁性材料的制备工艺及其磁学性质，并将激光加工技术与磁功能材料有机结合，突破了传统激光聚合材料只是起结构支撑作用的局限，进而利用铁磁或电磁实现该微结构驱动。其最大特点是该驱动方式简单、易操作、无接触、可遥控，并且该制备过程不受微结构形状的限制，可以加工包含曲面在内的任意三维结构。 | ||
| 搜索关键词： | 遥控 驱动 微结构 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.磁遥控驱动微结构的制备方法，其特征在于：首先利用物理或化学方法合成磁性材料，然后将磁性材料与光敏聚合材料体系共混制备磁性光刻胶，再利用激光三维加工系统的激光光束逐点扫描磁性光刻胶，固化显影后即获得磁遥控驱动的微结构器件。
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