[发明专利]感光性树脂组合物及其用途有效
| 申请号： | 200710194760.0 | 申请日： | 2007-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN101196686A | 公开（公告）日： | 2008-06-11 |
| 发明（设计）人： | 山田有里 | 申请（专利权）人： | 旭化成电子材料元件株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/028 | 分类号： | G03F7/028;G03F7/004;G03F7/00;H05K3/06;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供感光性树脂组合物，其显影后分辨率良好、显影液分散稳定性优异、不产生凝聚物、具有良好的溢胶性和追随性，以及提供具有由该组合物形成的感光性树脂组合物层的感光性树脂层压体，使用了该层压体的抗蚀图案的形成方法和导体图案的制造方法。使用感光性树脂组合物，其特征在于，相对于感光性树脂组合物的总和，含有：20～90质量％(a)粘合剂用树脂，该粘合剂用树脂的羧基含量以酸当量计为100～550，含有20～80质量％(甲基)丙烯酸苄酯作为共聚物成分、3～60质量％(甲基)丙烯酸2－乙基己酯作为共聚物成分，并且，该粘合剂用树脂的重均分子量为5000～500000；3～70质量％(b)可光聚合的单体；0.1～20质量％(c)光聚合引发剂。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 及其 用途 | ||
【主权项】：
1.一种感光性树脂组合物，其特征在于，相对于感光性树脂组合物的总和，含有：20～90质量％(a)粘合剂用树脂，该粘合剂用树脂的羧基含量以酸当量计为100～550，含有20～80质量％(甲基)丙烯酸苄酯作为共聚物成分、3～60质量％(甲基)丙烯酸2-乙基己酯作为共聚物成分，并且，该粘合剂用树脂的重均分子量为5000～500000；3～70质量％(b)可光聚合的单体；0.1～20质量％(c)光聚合引发剂。
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