[发明专利]具有对准标记的图案模板及其制造方法

摘要

本发明提供了一种图案模板及其制造方法，该图案模板包括柔性基底、形成在柔性基底上并包括图案的模板模子和对准标记，对准标记的折射率大于模板模子的折射率。通过提供包括图案区的主模板、在图案区涂覆用于模子的树脂、通过在用于模子的树脂上安装柔性板并通过照射UV射线固化用于模子的树脂来形成模板模子、将模板模子与主模板分离、在模板模子上涂覆薄的金属膜并在模板模子的两侧均形成对准标记，来制造该图案模板。

主权项

1.一种图案模板，包括：柔性基底；模板模子，形成在柔性基底上，模板模子具有形成在其上的图案；对准标记，形成在模板模子上，对准标记的折射率大于模板模子的折射率。