[发明专利]光学照明装置、曝光装置以及曝光方法

摘要

本发明是有关于一种光学照明装置、曝光装置以及曝光方法。该光学照明装置，例如搭载于曝光装置中，便可以依据光罩图案的特性，抑制光量损且使照明光的偏振状态改变，得以实施适当的照明条件。具有提供直线偏振光的光源部(1)，以光源部发出的光来照明被照射面(M、W)。光学照明装置具有偏振状态切换手段(10、20)，配置在光源部与被照射面之间的光路中，用以使照明被照射面的光的偏振状态在特定偏振状态与非偏振状态之间做切换。偏振状态切换手段更具有去偏振器(20)，其架构成可以自在地插入与脱离于照明光路中，并且可依据所需将入射的直线偏振光去偏振。

主权项

1.一种光学照明装置，以光源部发出的光来照射被照射面，其特征在于该光学照明装置包括：偏振照明设定手段，用以将照明该被照射面的光的偏振状态，设定成特定偏振状态；以及光学积分器，配置在该光源部与该被照射面之间，其中该光学积分器包括沿着预定第一方向的间距排列而成的第一一维圆柱透镜阵列；以及以沿着与第一方向交叉的第二方向的间距排列而成的第二一维圆柱透镜阵列。