[发明专利]基板检查装置和基板检查方法

摘要

本发明提供一种能够进行检查而不会使邻接的布线图形间疑似短路的疑似短路部烧损的基板检查装置，其通过使被检查基板(11)上的检查点(12a、12b)间产生电位差并从检查点取出检查用信号，检查检查点间的布线图形(13)的电特性。该基板检查装置具有与检查点直接或间接导通的多个探针(2a、2b)；经由探针使检查点间产生电位差的输出部(3)；以及赋予电位差时经由探针从检查点检测信号的检测部(4)，输出部使检查点间产生如下程度的电位差：使邻接的布线图形间疑似短路的疑似短路部导通但不会被流过该疑似短路部的电流烧损。

主权项

1.一种基板检查装置，其通过使被检查基板上的多个布线图形上设定的检查点间产生电位差并从所述检查点取出检查用信号，检查所述布线图形间的电特性，其特征在于，该基板检查装置具有：与所述检查点导通接触的多个探针；经由所述探针使所述检查点间产生电位差的输出部；以及在赋予所述电位差时经由所述探针检测来自所述检查点的信号的检测部，所述输出部使所述检查点间产生如下电位差，即，使邻接的所述布线图形间疑似短路的疑似短路部导通但不会被流过该疑似短路部的电流烧损。