[发明专利]具有高可靠性的可精细构图的碳纳米管发射体的制造方法有效
| 申请号： | 200710196272.3 | 申请日： | 2007-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN101221872A | 公开（公告）日： | 2008-07-16 |
| 发明（设计）人： | 金大俊;宋润镐;郑珍宇 | 申请（专利权）人： | 韩国电子通信研究院 |
| 主分类号： | H01J9/02 | 分类号： | H01J9/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种场发射装置的碳纳米管的制造方法，其中添加了纳米尺寸的金属颗粒，由此大大提高了发射体的可靠性。CNT发射体的制造方法包括(a)在溶剂中分散CNT粉末、有机粘合剂、光敏材料、单体、和纳米尺寸的金属颗粒，由此制造CNT浆料；(b)在基底上方形成的电极上涂覆CNT浆料；(c)曝光涂覆在电极上的CNT浆料，由此进行精细构图；(d)塑化精细构图的CNT浆料；并且(e)处理CNT浆料的表面，使得被塑化的CNT浆料被激活。CNT发射体可以被精细地构图至几个μm，并可以改善电子发射的均匀性。另外，添加纳米尺寸的金属颗粒作为CNT浆料的金属填充剂，使得金属可以在CNT不恶化的低温下熔化。此外，增强了CNT对阴极的粘接，从而可以改善CNT发射体的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 可靠性 精细 构图 纳米 发射 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种碳纳米管发射体的制造方法，包括的步骤是：(a)在溶剂中分散碳纳米管粉末、有机粘合剂、光敏材料、单体、和纳米尺寸的金属颗粒，由此制造碳纳米管浆料；(b)在基底上方形成的电极上涂覆所述碳纳米管浆料；(c)曝光涂覆在电极上的所述碳纳米管浆料，由此进行精细构图；(d)塑化所述精细构图的碳纳米管浆料；并且(e)处理所述碳纳米管浆料的表面，使得被塑化的碳纳米管浆料被激活。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于韩国电子通信研究院，未经韩国电子通信研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200710196272.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
