[发明专利]固态成像装置及其制造方法以及成像设备

摘要

公开了一种固态成像装置、固态成像装置的制造方法和固态成像设备。该固态成像装置包括下述元件。光电转换部分设置在半导体层中，该半导体层具有光通过其进入光电转换部分的第一表面。信号电路部分设置在半导体层相对于第一表面的第二表面中。信号电路部分处理由光电转换部分的光电转换获得的信号电荷。反射层设置在半导体层相对于第一表面的第二表面上。反射层将传输通过光电转换部分的光反射回。反射层由单独的钨层或者包含钨层的叠层组成。

主权项

1.一种固态成像装置，包括：光电转换部分，设置在半导体层中，该半导体层具有光通过其进入该光电转换部分的第一表面；信号电路部分，设置在该半导体层相对于该第一表面的第二表面中，该信号电路部分处理由该光电转换部分的光电转换获得的信号电荷；和反射层，设置在该半导体层相对于该第一表面的该第二表面上，该反射层将传输通过该光电转换部分的光反射回，其中该反射层由单独的钨层或者包含钨层的叠层组成。