[发明专利]溅镀用承载装置无效
| 申请号： | 200710200846.X | 申请日： | 2007-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN101328575A | 公开（公告）日： | 2008-12-24 |
| 发明（设计）人： | 张庆州 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种溅镀用承载装置，其包括：一载具及一用于承载所述载具的金属托盘；所述载具具有一底面，所述金属托盘具有一承载面；所述底面与承载面两者中之一者其上形成有多个锯齿状凸起，另一者其上形成有与所述多个锯齿状凸起相对应的多个凹槽；所述载具与金属托盘经由所述多个凸起与多个凹槽相配合形成热接触并相对固定。所述溅镀用承载装置经由设置多个相配合的锯齿状凸起和凹槽使载具和金属托盘具有较大的热接触表面，使得放置在载具上的被镀覆物件上的热量可有效地传递至金属托盘而散除掉，从而可有效避免被镀覆物件因温度过高而产生变形。 | ||
| 搜索关键词： | 溅镀用 承载 装置 | ||
【主权项】：
1.一种溅镀用承载装置，其特征在于，其包括：一载具，其具有一底面，以及一用于承载所述载具的金属托盘，其具有一承载面；所述底面与承载面两者中之一者其上形成有多个锯齿状凸起，另一者其上形成有与所述多个锯齿状凸起相对应的多个凹槽，所述载具与金属托盘经由所述多个凸起与多个凹槽相配合形成热接触并相对固定。
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