[发明专利]接触式测量装置有效
申请号: | 200710202037.2 | 申请日: | 2007-10-12 |
公开(公告)号: | CN101408418A | 公开(公告)日: | 2009-04-15 |
发明(设计)人: | 孔建斌;刘庆 | 申请(专利权)人: | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
主分类号: | G01B21/20 | 分类号: | G01B21/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518109广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开一种接触式测量装置,其包括测量端子及用于驱动该测量端子的至少一个驱动轴,该测量端子在驱动轴驱动下可沿一方向移动,且该测量端子接触被测量物表面以进行测量,该驱动轴具有锥度,且其尺寸沿着测量端子被驱动的方向逐渐增大,该驱动轴由作用在该驱动轴外侧壁上的气体驱动。 | ||
搜索关键词: | 接触 测量 装置 | ||
【主权项】:
1.一种接触式测量装置,其包括测量端子及用于驱动该测量端子的至少一个驱动轴,该测量端子在驱动轴驱动下可沿一方向移动,且该测量端子接触被测量物表面以进行测量,其特征在于:该驱动轴具有锥度,且其尺寸沿着测量端子被驱动的方向逐渐增大,该驱动轴由作用在该驱动轴外侧壁上的气体驱动。
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