[发明专利]用于改善外部量子效率的LED纳米技术无效

专利信息
申请号: 200710300804.3 申请日: 2007-12-18
公开(公告)号: CN101252158A 公开(公告)日: 2008-08-27
发明(设计)人: 蔡勇;褚宏深;刘纪美;郭浩中 申请(专利权)人: 香港应用科技研究院有限公司
主分类号: H01L33/00 分类号: H01L33/00
代理公司: 深圳创友专利商标代理有限公司 代理人: 江耀纯
地址: 中国香港新界沙田香港科*** 国省代码: 中国香港;81
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摘要: 发明涉及用于改善外部量子效率的LED纳米技术,尤其涉及利用该纳米技术在发光元件上形成二维图案的方法,其包含以下步骤:在发光元件的发光表面上形成第一基板;在第一基板上形成一个金属层;电化学阳极氧化处理此金属层,以形成多孔性金属氧化物;利用多孔性金属氧化物作为一个屏蔽,刻蚀第一基板;并去除多孔性金属氧化物,从而在此第一基板上形成二维图案。根据本发明披露的方法,可以提供制作成本低廉且生产效率更高的制作方法。此外,利用本发明披露的方法所制成的发光装置,可以改善量子效应,提高光取出(optical capture)效率,并改善出光方向的准直性(alignment)。
搜索关键词: 用于 改善 外部 量子 效率 led 纳米技术
【主权项】:
1.一种在发光元件上形成二维图案的方法,包含以下步骤:(a)在所述发光元件的发光表面上形成第一基板;(b)在所述第一基板上形成一个金属层;(c)用电化学阳极氧化处理所述金属层,以形成多孔性金属氧化物;(d)利用所述多孔性金属氧化物作为一层掩膜,刻蚀所述第一基板;和(e)去除所述多孔性金属氧化物,从而在所述第一基板上形成二维图案。
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