[发明专利]基板激光修补机自动瑕疵检测装置及方法

摘要

本发明是关于一种基板激光修补机自动瑕疵检测装置及方法，在对于一基板进行电测之后，根据电测的结果，以一光学检测模块的第二取像装置取代人眼对缺陷线路进行高速取像，并通过激光修补模块的影像检测方式进行缺陷检出，以利于后续的激光修补动作。

主权项

1. 一种基板激光修补机自动瑕疵检测装置，其特征在于，该基板激光修补机自动瑕疵检测装置包含：一机台底座；一基板承载台，设于所述的机台底座上；一基板，承载于所述的基板承载台上；一激光修补模块，设于所述的基板上并连接所述的机台底座，该激光修补模块具有一第一取像装置、一激光修补头、一激光机台与一激光修补控制计算机；以及一光学检测模块，连接于所述的激光修补模块，所述的光学检测模块具有一第二取像装置与一光学检测控制计算机；其中，所述的光学检测模块对所述的基板进行电测，并以所述的第二取像装置对所述的基板的缺陷线路进行高速取像与检测，通过所述的光学检测控制计算机将检测后的结果传送至所述的激光修补控制计算机，而所述的激光修补控制计算机读取、比对数据及输出信号，使所述的激光机台带动所述的激光修补头与所述的第一取像装置至所述的基板的线路缺陷处，由所述的第一取像装置辅助对准并利用所述的激光修补头修补所述的基板的线路缺陷。