[发明专利]一种多线切割机

摘要

本发明公开了一种多线切割机，包括切割线走线系统、工作台、控制系统、循环油冷却系统和油气润滑装置，通过金属丝的高速往复运动把磨料带入半导体材料加工区域进行研磨，并通过控制伺服装置控制收放线电机的速度、排线电机的非线性速度实现无轴传动跟踪控制；并采用了循环油冷却系统和油气润滑装置解决主轴的温度和润滑控制，最终把半导体材料切割成片薄片。该多线切割机具有张力切割精度高、走线速度快、切割损耗小、平均无故障运行时间长的优点。

主权项

1.一种多线切割机，包括切割线走线系统、工作台、控制系统、循环油冷却系统和油气润滑装置，其特征在于，所述切割线走线系统包括缠绕在放线辊上的金属丝和3个加工辊，所述金属丝通过导向轮缠绕到3个加工辊上，加工锟下端由缠绕的钢丝线组成了切割面，切割加工后再通过导向轮缠绕到收线辊，切割线走线系统还包括排线器，将来自放线轮的线均匀地绕到收线轮上；所述控制系统包括运动控制器、通过通信单元与运动控制器分别连接的伺服单元和模拟量输入输出单元；其中伺服单元包括7个伺服电机：主电机、收线电机、放线电机、工作台电机、两个张力电机和排线电机，分别作为加工辊、放线辊、收线辊、工作台、收放线两侧的张力摆杆、排线器的执行机构，上述伺服电机均安装有测速传感器。