[发明专利]梳齿型静电驱动器

摘要

本发明涉及梳齿型静电驱动器。其中，与基体上预先确定的匹配轴线(0x)平行地配置可动棒(11)，在该可动棒上的连结部(11C)两侧固定具有多个可动电极板(12b)的可动梳齿电极(12)，并在基体上固定具有多个固定电极板(21b、22b)的固定梳齿电极(21、22)，四个铰链(23、24)各自一端被固定在可动棒上，而另一端被固定设置在基体的固定部(32A～32D)。这些铰链的长度被设定为分别比从固定部到所述匹配轴线的距离长，连结部(11C)的匹配轴线垂直方向的位移量(L_c)比各可动电极板与最接近其的固定电极板的距离小。

主权项

1、一种梳齿型静电驱动器，其至少包括：基体；可动棒，其配置成将轴与所述基体上预先确定的轴线匹配；可动梳齿电极，其被固定于所述可动棒上的连结部，并具有多个可动电极板，所述多个可动电极板在与所述可动棒长度方向垂直的方向上隔开间隔排列并且与所述可动棒长度方向平行且互相平行；固定梳齿电极，其被固定于所述基体上，并具有与所述可动电极板平行交替地配置并且互相平行的多个固定电极板；以及第一铰链和第二铰链，它们的一端分别被固定在所述可动棒上的互相离开的第一支承部和第二支承部，另一端分别被固定在所述基体上的第一固定部和第二固定部，所述可动棒沿所述轴线能够移动地被支承，所述梳齿型静电驱动器的特征在于，所述连结部在所述可动棒上相对于所述第一支承部与所述第二支承部位于相同侧，所述第一铰链和第二铰链的长度比从固定所述第一铰链和第二铰链的所述第一固定部和第二固定部到所述轴线的距离分别长|L1|和|L2|，使所述第一铰链和第二铰链分别与所述轴线垂直地伸长时，当设所述第一支承部、所述第二支承部的以所述轴线为原点的与所述轴线垂直方向的位置坐标分别达到L1、L2，并且分别设从所述可动棒上的所述第一支承部到所述连结部和所述第二支承部的距离为d1和Ls时，Lc＝L1+(L2-L1)d1/Ls 的大小|Lc|、比使所述可动棒与所述轴线匹配的状态下的各所述可动电极板、和相对于其所述位置坐标所述Lc所具有的符号一侧的最接近的固定电极板的距离中的任何一个距离都小。