[发明专利]一种采用传送带结构的光刻机硅片台双台交换系统无效
| 申请号： | 200710303648.6 | 申请日： | 2007-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN101201555A | 公开（公告）日： | 2008-06-18 |
| 发明（设计）人： | 朱煜;张鸣;汪劲松;徐登峰;尹文生;胡金春;杨开明;李广;闵伟;段广洪 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/68 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084北京市100*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种采用传送带结构的光刻机硅片台双台交换系统，属于半导体制造装备技术领域。本发明含有运行于预处理工位的硅片台和运行于曝光工位的硅片台；在预处理工位和曝光工位上分别设有一个H型驱动单元，所述的H型驱动单元由双侧X向直线电机以及Y向直线电机组成，用于驱动硅片台在预处理工位和曝光工位上作X方向和Y方向运动；该系统在基台两侧分别安装有传送带，在传送带的侧面固定联结有对接滑块，通过传送带和对接滑块，将硅片台1由预处理工位过渡到曝光工位。本发明由于采用传送带结构，有效避免了专利ZL03156436.4双台交换系统导轨精密对接的问题，具有操作维护简单，外形尺寸较小等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 采用 传送带 结构 光刻 硅片 台双台 交换 系统 | ||
【主权项】：
1.一种采用传送带结构的光刻机硅片台双台交换系统，该系统含有运行于预处理工位(13)的硅片台(1)和运行于曝光工位(15)的硅片台(1)，所述的两个硅片台设置在一基台(11)上，并通过气浮轴承悬浮在基台(11)表面，在预处理工位和曝光工位上分别设有一个H型驱动单元(3)，所述的H型驱动单元(3)由双侧X向直线电机(5)以及Y向直线电机(7)组成，用于驱动所述硅片台在预处理工位和曝光工位上作X方向和Y方向运动，硅片台1与H型驱动单元3之间通过真空轴承吸住，其特征在于：在基台(11)两侧分别安装有传送带(9)，在传送带的侧面固定联结有对接滑块(10)，对接滑块(10)下面安装有直线电机，硅片台与所述对接滑块之间通过真空轴承吸住。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清华大学，未经清华大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200710303648.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种多功能触媒环境治理剂
- 下一篇：背光模组
