[发明专利]一种钛铝合金靶材的粉末冶金制备方法

摘要

本发明属于粉末冶金制备领域，特别涉及钛铝合金靶材的粉末冶金制备方法。该钛铝合金靶材成分(原子比)为：Ti∶Al＝80％∶20％～Ti∶Al＝20％∶80％。上述钛铝合金靶材的粉末冶金制备方法是采用雾化方法得到的钛铝合金粉末或将钛粉和铝粉进行混料，然后经过装粉和冷等静压预压制、脱气工艺后再进行热等静压压制成形，最后进行烧结过程和加工得到钛铝合金靶材。本发明钛铝合金靶材与现有熔铸靶材相比具有致密性好，无气孔、无疏松和偏析，成分均匀、晶粒细小，规格尺寸大等优点，适用于各种工模具所需的硬质涂层。

主权项

1.一种钛铝合金靶材的粉末冶金制备方法，该钛铝合金靶材化学成分(原子比)为：Ti∶Al＝80％∶20％～Ti∶Al＝20％∶80％，其特征在于该方法包括如下具体步骤：A、制粉或混料可以采用雾化方法制得的符合上述成份配比的钛铝合金粉；或利用纯度为99.5～99.9％，粒度为100～150μm的钛粉和铝粉，按上述比例在V型混料机中混合3-5个小时；混料设备是抽真空或用高纯氩气保护的。B、装粉和冷等静压预压制将混合好的粉末装入冷等静压模具中，在1-2.5吨压力下压制20-40分钟。C、脱气将冷等静压坯放入预先备好的铁包套中，置于脱气炉中进行脱气处理，脱气温度为300～500℃，脱气时间根据装粉量不同从10小时～30小时。D、热等静压压制和烧结将脱气完毕的包套放入热等静压设备中压制烧结，温度为1100-1350℃，时间2-5小时，压力为120-130MPa。E、加工对压制后的锭坯按照图纸进行加工处理，得到成品。