[发明专利]一种超宽光谱分色镜的制备方法

摘要

本发明公开了一种超宽光谱分色镜的制备方法，它包括清洁真空室、超声波清洗基底、加热基底、离子束清洗基底、离子束辅助多层薄膜沉积和基底降温六个步骤；离子束辅助沉积是将离子轰击与镀膜结合在一起，即在镀膜的同时，使具有一定能量的轰击离子不断地射到膜与基材的界面，借助于级联碰撞导致界面原子混合，在初始界面附近形成原子混合区，再在离子束参与下继续生长出所要求厚度和特性的薄膜。离子束辅助沉积技术可以增加薄膜的附着力，提高薄膜的堆积密度和在外界环境下的稳定性。

主权项

1、一种超宽光谱分色镜的制备方法，其特征在于包括下列步骤：(1)清洁真空室：用吸尘器清除真空室内脱落的膜层，然后用无水乙醇擦拭干净真空室内壁；(2)超声波清洗基底：将基片放入玻璃器皿，用分析纯丙酮将基片超声波清洗10min，再用分析纯无水乙醇超声波清洗10min，最后用分析纯无水乙醇冲洗干净，用专用无屑擦拭纸擦拭至表面无划痕、擦痕和液滴残留痕迹；(3)加热基底：当本底真空度为5.0×10-3Pa时，加热基底到沉积温度323～353K，并保温30Min～60Min；(4)离子束清洗基底：基底加温完成后，用能量为80eV～130eV的离子束轰击清洗基底5Min～25Min，工作气体为氧气，气体流量20～30sccm；(5)离子束辅助多层薄膜沉积：离子束轰击清洗完基底后，立即采用离子束辅助技术交替沉积二氧化钛和冰晶石薄膜至镀完整个膜系；工作气体为氧气，气体流量20～30sccm；(6)基底降温：薄膜沉积完成后，让基底自然冷却至室温。