[发明专利]药液回收处理方法及药液回收处理装置、萤石的制造方法无效
| 申请号： | 200710307090.9 | 申请日： | 2004-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN101200303A | 公开（公告）日： | 2008-06-18 |
| 发明（设计）人： | 八嶋浩二 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | C01F11/22 | 分类号： | C01F11/22 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 章社杲;李丙林 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明披露了一种药液的回收处理方法，是通过使蚀刻剂废液中的氢氟酸与碳酸钙接触，以氟化钙的形式进行回收的方法，可以回收能够用于半导体制造的高纯度的氟化钙。所述药液的回收处理方法是半导体制造过程中使用的含有氢氟酸的药液回收处理方法。其中，包括使含有氢氟酸的已用过的药液与碳酸钙反应，生成氟化钙的工艺。从pH值超过7的状态开始生成所述氟化钙，当pH值变成小于等于7(pH值最好为7～3)时，从反应塔中回收氟化钙。 | ||
| 搜索关键词： | 药液 回收 处理 方法 装置 萤石 制造 | ||
【主权项】：
1.一种萤石的制造方法，其特征在于，包括：使含氟的药液只与碳酸钙混合，生成氟化钙的工序；以及，回收所述氟化钙的工序。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于精工爱普生株式会社，未经精工爱普生株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200710307090.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
