[发明专利]图案形成方法有效
| 申请号： | 200710307412.X | 申请日： | 2007-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN101211112A | 公开（公告）日： | 2008-07-02 |
| 发明（设计）人： | 宋泰俊 | 申请（专利权）人： | LG.菲利浦LCD株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/00;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李辉;吕俊刚 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了一种图案形成方法，该图案形成方法可以改善软模与包括图案形成材料的基板之间的界面特性，该图案形成方法包括：将涂覆有图案形成材料的基板装载到腔室中；在所述腔室内，与所述基板相对地设置软模，所述软模的表面设置有凸和凹图案；通过蒸发所述图案形成材料的一些组成部分并将从所述图案形成材料中蒸发的组成部分吸附到所述软模的表面上，来形成吸附层；通过将包括所述吸附层的所述软模与剩余的图案形成材料相接触，来形成具有与所述软模的表面中所包括的所述凸和凹图案相反形状的图案层；以及将所述软模与所述图案层分离。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
1.一种图案形成方法，该图案形成方法包括：将涂覆有图案形成材料的基板装载到腔室中；在所述腔室内，与所述基板相对地设置软模，所述软模的表面设置有凸和凹图案；通过蒸发所述图案形成材料的一些组成部分并将从所述图案形成材料中蒸发的组成部分吸附到所述软模的表面上，来形成吸附层；通过将包括所述吸附层的所述软模与剩余的图案形成材料相接触，来形成具有与所述软模的表面中所包括的所述凸和凹图案相反形状的图案层；以及将所述软模与所述图案层分离。
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