[发明专利]图案化固体薄膜表面有机润滑剂自组装薄膜的制备方法无效
| 申请号： | 200710308588.7 | 申请日： | 2007-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN101469290A | 公开（公告）日： | 2009-07-01 |
| 发明（设计）人： | 石雷;刘维民 | 申请（专利权）人： | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| 主分类号： | C10M177/00 | 分类号： | C10M177/00;H01L21/00;C10M107/32;C10M105/74;C10N50/02 |
| 代理公司： | 兰州中科华西专利代理有限公司 | 代理人： | 方晓佳 |
| 地址： | 730000甘肃*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种图案化固体薄膜表面有机润滑剂自组装薄膜的制备方法。以有机润滑剂为原料，采用微接触印刷技术首先在单晶硅或载玻片上制备图案化的固体薄膜，以此为基底在其表面组装稳定的有机润滑剂薄膜。有机润滑剂薄膜与固体薄膜具有很好的结合性能，在微型机械和信息技术领域具有潜在的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 固体 薄膜 表面 有机 润滑剂 组装 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、图案化固体薄膜表面有机润滑剂自组装薄膜的制备方法，其特征在于该方法包括：选取易吸附于图案化陶瓷薄膜表面的有机润滑剂配制成溶液，有机润滑剂选自全氟聚醚、1-甲基—3-三丁基膦基六氟磷酸咪唑盐离子液体或含双咪唑环六氟磷酸离子液体，有机润滑剂配制成的溶液中溶剂选自氟立昂-113或二氯甲烷；将图案化陶瓷薄膜浸入配制好的有机润滑剂溶液中于室温下反应12～48小时；取出后经相应的溶剂彻底清洗并吹干，即得到有机润滑薄膜。
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