[实用新型]一种光阻供应管路装置无效
| 申请号： | 200720000313.2 | 申请日： | 2007-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN201017172Y | 公开（公告）日： | 2008-02-06 |
| 发明（设计）人： | 胡清强;陈晓琪;鲁旭光 | 申请（专利权）人： | 和舰科技(苏州)有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;H01L21/00;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 | 代理人： | 包红健 |
| 地址： | 215123江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种光阻供应管路装置，包括依次顺序连接的光阻瓶，过滤器和喷嘴，其中，在过滤器与喷嘴之间的管路中安装缓冲罐，其位置高于喷嘴的位置，缓冲罐上方装有排气装置，过滤器中的光阻经管路流入缓冲罐，如果管路中含有气泡，由于重力作用气泡会自动浮出光阻，停留在缓冲罐中光阻液面的上方，并最终通过排气装置排出，不含气泡的光阻会经管路流到喷嘴。本实用新型的优点在于可以去除光阻中的气泡，保证光阻的注入情况和涂布情况，改变光阻喷出的速度，装置简单，易于实现，特别是不需在过滤器更换过程中进行排气泡处理，节省了因排气泡的过程而消耗的光阻和工作人员的时间，增加了产品的优良率与减少制造成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 供应 管路 装置 | ||
【主权项】：
1.一种光阻供应管路装置，包括依次顺序连接的光阻瓶，过滤器和喷嘴，其特征在于，在过滤器与喷嘴之间的管路中安装缓冲罐，其位置高于喷嘴的位置，缓冲罐上方装有排气装置，过滤器中的光阻经管路流入缓冲罐，如果管路中含有气泡，由于重力作用气泡会自动浮出光阻，停留在缓冲罐中光阻液面的上方，并最终通过排气装置排出，不含气泡的光阻会经管路流到喷嘴。
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